일본 [일본/R&D]주사전자현미경을 통해 높은 공간 분해능으로 원소 조성을 분석
페이지 정보
- 발행기관
- 산업기술종합연구소
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2019-11-05
- 조회
- 2,613
본문
산업기술종합연구소(AIST) 나노튜브실용화연구센터 CNT평가팀 등의 공동 연구그룹이 주사전자 현미경(SEM) 중에서의 ‘에너지분산형 X선분광법(EDS)’을 통해 원소 분석을 기존보다 2자리 수 이상 높은 공간 분해능으로 시각화하는 기술을 개발함. SEM 중에서의 EDS 측정은 원소 조성을 간편하게 정량 분석하는 방법으로써 다양한 재료에 사용되고 있지만, 한편으로 공간 해상도가 낮은 나노미터 크기의 재료를 정밀하게 분석하기 어려웠음. 연구진은 시료의 지지 기판을 연구함으로써 관찰 시의 X선 신호 검출의 안정성을 비약적으로 개선, 공간 분해능 10 nm 이하의 이미징을 실현함. 탄소나노튜브(CNT) 소재 개발과 관련, 기능성을 부여하기 위해 CNT 표면에 관능기를 도입하는 기술 개발이 활발하게 이루어지고 있음. CNT는 직경 수 ~ 수백 nm 정도의 관형 구조(번들)를 형성하는데, 그 번들의 특성, 용매, 모재 중에 있어 해섬(解繊) 상태, 네트워크 구조가 최종적으로 얻어지는 CNT 재료 기능에 크게 영향을 미치기 때문에 CNT 번들의 표면 관능기의 분포를 높은 공간 분해능으로 신속하게 평가하는 기술이 요구되고 있었음. 본 개발 기술을 통해 번들 형태 CNT 표면의 관능기 분포를 정밀하게 평가할 수 있게 되었으며, 향후 CNT를 비롯한 다양한 나노 재료의 표면 상태를 실용적인 대면적 시각에서 평가할 수 있는 기술로 재료 개발에 공헌할 것으로 기대됨.