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물질·재료연구기구(NIMS) 연구팀이 물질의 열복사를 파장 분해하고, 날아오는 방향을 좁혀 검출 할 수 있는‘다파장형(분광형) 적외선 센서’를 개발함. 연구팀은 1cm×1cm의 실리콘 칩에 각각 다른 파장에 반응하는 적외선 소자를 4개 탑재한 분광형 온칩 적외선 센서를 개발함. 중간 적외선 대역(3.5μm~3.9μm)의 4개의 파장에 50nm대의 파장 분해능으로 응답, 지향성도 ±1°가 되도록 4개의 소자를 제작·병렬시킴으로써, 높은 파장 분해능과 지향성을 동시에 만족시키는 다파장 온칩 센서를 세계 최초로 실현함. 본 센서는 50nm의 분해능과 ±1°의 지향성을 가지며, 열복사의 파장 분포 및 온도 변화를 모르는 물체라도 비접촉 상태에서 온도를 측정 할 수 있음. 이는 물체의 상태를 판별하는 센서로 용용될 수 있으며, 정확한 위치 센서와 가스 센서 등으로도 응용이 가능함. 본 연구 성과는 ‘Advanced Science’ 지에 게재됨