중국 [중국/정책]3세대 반도체 기판 제조 및 동종 에피택시 프로젝트 중간 평가 진행
페이지 정보
- 발행기관
- 과기부(科技部)
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2019-08-27
- 조회
- 2,674
- 출처 URL
본문
□ 중국 국가과학기술부의 "전략적 선진 전자 재료 중점 전문 프로젝트 관리사무실"(이하 "전문 프로젝트 사무실"로 약칭함)은 중국 내 관련 전문가들을 중국 장수성(江蘇省) 수저우시(蘇州市)에 초청하여 "3세대 반도체 기판 제조 및 동종 에피택시(homoepitaxy) 프로젝트"에 대한 중간 평가를 실행하였음.
□ 이번 중간 평가 회의에서 "전문 프로젝트 사무실"은 국가과학기술부의 "중점 연구개발 프로젝트 관리 방법"에 따라 중간 평가 관련 요구를 제시하였으며, 초청된 전문가들은 "프로젝트 담당자 업무 보고"를 받고 관련 기술과 재무 재료에 대한 평가 작업을 실행하였으며, 프로젝트 실행 현장에 대한 실사를 실행하였고, 관련 토론과 질의를 거쳐 "프로젝트 실행이 총체적으로 순조롭고 빅 사이즈 단결정 기판, 초박(超薄) 재료, 마이크로파 파워 디바이스 등 분야 연구 개발에서 중대한 발전을 실현하였다"고 높이 평가하였음.
□ 중국 국가과학기술부 관련 담당자의 설명에 따르면 국가과학기술부가 주관하여 추진하고 있는 이번 "3세대 반도체 기판 제조 및 동종 에피택시(homoepitaxy) 프로젝트"의 주요 목표는 3세대 반도체 산업이 동종 기판에 대한 절박한 요구를 해결하고, 기판 제조 및 동종 에피택시 연구를 추진하고, 낮은 결함 밀도의 성장 동력학 제어, 전기학 특성 제어, 기판 분리 등 기술을 개발하고, 높은 품질의 동종 에피택시 재료를 연구 개발하여 광전자 및 파워 전자 디바이스에 응용할 수 있도록 지원하며, 중국 3세대 반도체 산업의 신속한 발전을 위해 중요한 기반을 구축하는 것이라고 함.
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