나노기술 및 정책 정보

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● Shunichi Sato 교수(도호쿠대학) 연구팀은 소재와 공기 계면의 빛 반사 및 굴절 효과를 연구해 레이저 미세 가공 시 가공 분해능을 비약적으로 향상시킬 수 있는 방법을 발견

● 연구팀은 벡터빔이라는 특수한 레이저광을 조사해 유리 뒷면에 집광시킬 때 유리 계면의 전반사 효과를 이용하면 계면 근방에 고강도의 미세한 집광점이 형성됨을 확인

● 연구팀은 해당 방법을 이용해 레이저 가공을 시도하여 유리 뒷면에 근적외광 파장(1,040nm)의 1/16에 상당하는 직경 67nm의 미세한 구멍이 형성됨을 실증

● 본 연구 결과는 반도체 산업을 비롯한 레이저 미세 가공 분야에서 미세화, 고정밀도화에 기여할 신기술의 기반이 될 것으로 기대

Optics Letters (2024.03.01), Laser nanoprocessing via an enhanced longitudinal electric field of a radially polarized beam