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나노기술 및 정책 정보

중국 [중국/R&D]X-선 다층 필름 나노그레이팅 개발

페이지 정보

발행기관
퉁지대학(同济大学)
저자
 
종류
 
나노기술분류
 
발행일
2019-06-05
조회
2,536

본문

퉁지(同濟) 대학교 연구팀이 50nm보다 낮은 수준의 나노 홈을 규칙적으로 형성할 수 있는 X-선 나노 광학 격자 제조 기술을 개발함. 50nm 이하의 주기를 가지는 나노 홈을 고도로 정렬할 수 있으며, 광학 격자 선의 밀도는 20,000L/mm 수준에 달함. 제작된 나노 광학 격자는 다층막과 결합하여 3차원 다층막 광학 격자 구조를 형성하며, 광학 격자 회절 효율이 크게 향상되어 X선 주파수대에서 나노 광학 격자의 작동이 가능함. 이번 성과로 나노 광학 격자 부품의 성능을 향상할 수 있어 최첨단 고해상도 분광법을 개발하거나 기타 X-선 응용 분야에 적용 가능할 것으로 기대됨. 본 연구 성과는 ‘Nature Communications’ 지에 게재됨