나노기술 및 정책 정보

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산업기술종합연구소(AIST)가 ‘마이크로파 플라즈마 CVD법’을 이용하여 가스로부터 균열이 없는 1㎤ 급의 체적을 가진 단결정 다이아몬드의 제작에 세계 최초로 성공함. 합성 면적의 확장이 용이한 가스를 원료로 하는 방법을 이용함으로써 세계 최대 수준의 결정 제작이 가능하게 됨. 이는 인치 사이즈의 대형 웨이퍼를 실현하는 첫 걸음으로, 향후 다이아몬드를 이용한 차세대 파워 반도체의 개발이 실현·가속화되어 다양한 전기 기기에 통합됨으로써 보다 효율적인 전력 사용이 가능해질 것으로 기대됨. 본 성과는 전력 반도체 등과 같은 전자 분야뿐만 아니라 스핀트로닉스 분야의 응용도 생각할 수 있으며, 다이아몬드는 상온·상압에서 공간 분해능이 높은 양자 정보를 취급할 수 있어 센서 및 양자 컴퓨팅 등의 고성능화에 공헌할 것으로 기대됨. 본 기술에 대한 상세 내용은 2019년 3월 28-29일 내각부와 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)가 공동으로 주최하는 SIP ‘차세대 파워 일렉트로닉스’ 공개 심포지엄에서 전시될 예정임