중국 [중국/R&D]비평형 및 곡면 기판 표면에서의 3차원 마이크로 나노 가공
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- 발행기관
- 신랑망(新浪网)
- 저자
- 종류
- 나노기술분류
- 발행일
- 2018-11-05
- 조회
- 3,447
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본문
중국과학기술대학교 연구팀이 다양한 형태의 3차원 슈퍼 구조 제어 설비를 개발하고, 이를 이용해 비평면 및 곡면 기판 표면에서의 3차원 마이크로 나노 가공을 실행함. 연구팀은 물 분해 전이의 방식을 이용하여 나노 도안이 있는 포토레지스트 박막을 등사지 인쇄 기술의 마스크로 하고 박막의 플렉시블한 형태 유지 특징을 이용함. 이번 개발은 슈퍼 소재, 곡면 광학격자, 국소 전기장 디바이스 및 플렉시블 디바이스 제조 분야에 응용 될 것으로 기대함. 본 연구 성과는 ‘ACS Nano’ 지에 게재됨
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