나노기술 및 정책 정보

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● 캐논은 차세대 반도체 제조장비인 나노 임프린트 리소그래피(NIL) 장비를 미국의 반도체 연구 컨소시엄 ’TIE’에 출시 후 처음으로 납품한다고 발표

● 캐논은 2014년 미국 몰레큘러임프린트를 인수한 후 NIL 장비 개발을 본격 추진해 약 10년 만인 지난해 NIL 장비를 출시

● 캐논은 NIL 장비 출시를 계기로 과거에 극자외선(EUV) 노광장비 개발 경쟁에서 밀려 철수했던 첨단 반도체 제조장비 시장에 재도전

● 이와모토 가즈노리 부사업본부장은 “향후 포토마스크 등의 공급망을 구축해 3~5년 후 연간 수십 대를 판매할 계획”이라 언급