나노기술 및 정책 정보

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● Labao Zhang 교수(난징대학교) 연구팀은 프리패터닝된 금속을 전구체로 사용하는 국소 변환 방법을 이용하여 전이금속 디칼코게나이드 초전도체(TMDSC) 나노패턴을 제조하는 보편적인 전략을 제시

● 연구팀은 먼저 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 사전에 금속 Nb 필름을 기판에 증착시킨 후, 나노와이어 패터닝 처리를 진행하고 고온 반응 전환을 거쳐 너비가 약 200nm인 NbSe2 나노와이어를 제조

● 해당 방법은 기존의 “하향식” 마이크로/나노 가공공법과 비교했을 때 NbSe2에 대한 손상을 줄일 수 있어, 최종적으로 제조된 초전도성 NbSe2 나노와이어는 더 완전한 격자 구조와 더 우수한 전기적 성능을 구현

● 본 연구는 비파괴 TMDSC 나노회로 제조를 위한 정밀 제어가 가능한 새로운 방법을 제시

Nature Communications (2023.07.18.), Topotactic fabrication of transition metal dichalcogenide superconducting nanocircuits