나노기술 및 정책 정보

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● Pengfei Zhai 및 Jie Liu(중국과학원) 연구팀 및 러시아 두브나합동원자핵연구소 공동 연구팀은 화학적 에칭 공정 없이 단일 신속 중이온(SI)을 사용하여, WO3 나노시트에서 크기 및 밀도 제어가 가능한 10nm 미만 크기의 나노기공을 직접 제작하는 새로운 방법을 개발

● 연구팀은 중이온의 적층에너지에 의해 야기된 일시적 용융상(相)의 점도와 표면 장력이 나노기공 형성의 핵심 요소임을 입증

● 해당 방법은 중이온의 전자에너지 손실 변화를 통해 기공 크기를 조절하고, 중이온의 조사 플루언스 제어를 통해 기공 밀도를 조절하였으며, 나노기공의 생성 효율은 Se > 20keV/nm에서 최대 100%

● 본 연구는 새로운 고체 나노기공 제조 방법을 제시하여 단일분자 검출, 나노유체 소자 및 나노여과막 분야에서의 활용이 기대

Nano Letters (2023.05.12.), Direct Fabrication of Sub-10 nm Nanopores in WO3 Nanosheets Using Single Swift Heavy Ions