나노기술 및 정책 정보

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● 한빈 교수(산시과학기술대) 및 Hsien-Yi Hsu 교수(홍콩시티대) 공동연구팀은 유기-무기 하이브리드 페로브스카이트 소재에 사용할 수 있는 투명 나노리소그래피 기술을 개발

● 연구팀은 1μm 두께의 PET 필름에 대한 집속 이온 빔(FIB) 에칭을 통해 필요한 패턴을 획득하여, FIB 패터닝 종료 후 10% KI 용액으로 금(Au)을 제거하여 PET의 투명도를 복원

● 마스크 레티클(Reticle)이 투명하므로 추가적인 표기가 필요 없이 정확하고 편리하게 타겟팅 하이브리드 페로브스카이트 나노시트를 정렬 가능

● 본 연구는 100 nm 수준의 해상도의 리소그래피 및 정밀한 마스크 정렬이 가능한 새로운 기술을 제시하였으며, 하이브리드-페로브스카이트 기반 전자기기의 저비용 경량화 제조 분야에서의 활용을 기대

Advanced Functional Materials (2023.04.16.), Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic–Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices