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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

일본 1나노미터 반도체 양자 와이어 제작에 성공

페이지 정보

발행기관
도쿄대학교
저자
 
종류
R&D
나노기술분류
나노공정·분석·장비
발행일
2023-05-08
조회
744

본문

● 아사바 토모야 교수(도쿄대) 연구팀은 흑연 기판 위에 염화루테늄(RuCl3)의 나노양자 와이어를 제작하는 방법을 발견

● 펄스레이저 퇴적법을 이용하여 고품질의 염화루테늄 박막을 흑연 기판 표면에 증착했으며, 원자 몇 개정도의 폭으로 β-RuCl3 양자 와이어가 기판표면에 주기적으로 형성됨을 확인

● 양자 와이어는 두께와 폭이 약 1nm(나노미터)로 매우 미세하며, 1()마이크로미터가 넘는 길이의 양자 와이어가 거의 직선이면서 일정한 간격으로 배열

● 또한, 증착시간 및 기판 온도 변화로 해당 양자 와이어들의 폭 및 간격을 조정 가능

● 본 연구 결과는 비평형 반응 및 확산 과정이 원자 패턴 형상에 필수적인 역할을 할 수 있음을 규명하였으며, 나노스케일의 비평형 자기 조직화 현상에 대해 새로운 관점을 제공하여 나노 네트워크의 양자 아키텍처를 위한 가능성 및 새로운 초미세 가공 기술이 가능할 것으로 기대


Science Advances (2023.05.03.), Growth of self-integrated atomic quantum wires and junctions of a Mott semiconductor