나노기술 및 정책 정보

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● 미야타 야스미츠(도쿄도립대) 연구팀이 차세대 반도체 재료로 주목 되고 있는 전이금속 디칼코제나이드(Transition Metal Dichalcogenides,TMDC)의 다층 결정에 있어서, 다른 2종류의 TMDC가 동일한 면 내에서 접합된 구조로 제작

● 점착 테이프를 이용하여 TMDC 결정을 벗겨내고, 그 후 실리콘 기판 위에 계면의 구조 관찰용으로 이셀레늄화 텅스텐(WSe2)을, 그리고 전자 전달 특성의 평가용으로 NbxMo1-xS2(나이오븀 이황화 몰리브덴)의 두 가지 다층 플레이크 모양의 TMDC 결정을 부착

● 이 기판을 이용하여 화학기상증착법(CVD)으로 MoS2 결정을 성장시켰으며 성장 조건을 최적화함으로써 다층 TMDC의 결정 끝에서 MoS2를 성장시키는 데 성공

● 해당 다층 구조를 이용하여, 전자 또는 홀을 포함한 TMDC의 고농도 접합이 가능하고 그 접합 계면에서의 터널 전류를 관측함으로써, 저전력 TFET(tunneling field-effect transistors) 응용을 위한 새로운 디바이스 구조와 성능 개선을 위한 중요한 지침이 될 것으로 기대

ACS Nano (2023.02.27.), Multilayer In-Plane Heterostructures Based on Transition Metal Dichalcogenides for Advanced Electronics