EU 초고분해능 비표지 광학현미경을 이용한 표면 나노구조화 비파괴검사
페이지 정보
- 발행기관
- Scientific Reports
- 저자
- 종류
- R&D
- 나노기술분류
- 나노공정·분석·장비
- 발행일
- 2023-04-12
- 조회
- 667
- 출처 URL
본문
● 프랑스 University of Limoges와 Jean-Monnet University 공동 연구팀은 광자 재배치(photon reassignment) 영역에서 비표지 공초점 반사 현미경법(Confocal Reflectance Microscope, CRM)을 통해 회절 한계보다 작은 레이저 유도 주기적 표면 구조(Laser Induced Periodic Surface Structure, LIPSS)를 시각화 성공
● 연구팀은 펨토초 자외선 레이저(파장: 257nm)로 조사된 티타늄 샘플의 나노구조화된 표면을 비표지 공초점 반사 현미경법을 통해 분석했으며, 일반적인 주사 현미경법보다 높은 계측 효율을 달성
● 본 연구는 자외선 영역 레이저 표면 나노구조화를 통해 만들어진 LIPSS를 비표지, 비파괴 광학 표면 검사를 수행하였으며, 복합적/하이브리드 나노구조 합성 시 레이저 변수 정밀조정이 가능할 것으로 기대
Scientific Reports (2023.04.12.), Nondestructive inspection of surface nanostructuring using label-free optical super-resolution imaging
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