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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

일본 NEC, 탄소나노튜브를 활용한 고감도·비냉각형 적외선 이미지 센서 개발

페이지 정보

발행기관
NEC
저자
 
종류
산업
나노기술분류
나노정보전자
발행일
2023-04-10
조회
771

본문

● NEC가 고순도 반도체형 탄소나노튜브(CNT)를 적외선 검출부에 적용한 고감도 비냉각형 적외선 이미지 센서를 개발

● 당사는 합성 직후 금속형과 반도체형이 혼재하는 단층 CNT로부터 반도체형만을 고순도로 추출하는 기술을 개발한 바 있으며, 해당 기술을 통해 본 연구에서 추출된 반도체형 CNT에 의한 박막이 상온 부근에서 저항 온도 계수(TCR)가 커지는 것을 발견

● 높은 TCR을 실현한 반도체형 CNT를 적용하여 해당 적외선 이미지 센서를 개발

● 산화바나듐이나 비정질 실리콘을 이용한 비냉각형 적외선 이미지 센서에 비해 3배 이상의 고감도화를 실현