나노기술 및 정책 정보

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● 도레이는 호리바제작소와 협력하여 100nm의 높은 공간 분해능을 갖는 새로운 근접장 라만 현미경(Scanning Near field Optical Microscopy, SNOM)을 개발

● 차세대 전력 반도체로 기대되는 탄화실리콘(SiC) 디바이스 성능에 큰 영향을 미치는 잔류응력을, 기존 대비 약 10배 높은 정밀도로 분석하는 데 성공

● 전력 반도체의 핵심을 담당하는 SiC 반도체 디바이스의 개발을 촉진하여 반도체 산업의 고도화에 크게 공헌할 것으로 기대