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나노기술 및 정책 정보

EU 센서용 고수율 그래핀 멤브레인 공정법 개발

페이지 정보

발행기관
ACS Nano
저자
 
종류
R&D
나노기술분류
나노공정·분석·장비 > 나노증착 기술
발행일
2024-09-08
조회
111

본문

● 독일 Max C. Lemme 교수(RWTH Aachen University) 연구팀은 단일 원자 그래핀 멤브레인을 대면적 제작·패터닝 공정법 개발

● 연구팀은 고온으로 전사하여 접착을 촉진시키고, 그래핀과 대상 기판을 접촉시킬 때 액체를 사용하지 않아 높은 수율의 손상되지 않은 CVD 그래핀과 인공적으로 적층된 이중층 CVD 그래핀 막을 생성

● 연구팀은 SEM을 이용해 수율 평가·라만 단층 촬영 및 AFM을 이용하여 증착된 그래핀을 압저항 압력 센서로 적용하여 검증

● 해당 연구 결과는 그래핀 멤브레인의 대면적 제작 공정을 통해 센서로의 응용 및 다른 2차원 재료로의 확장이 가능할 것으로 기대


ACS Nano (2024.09.08.), High-Yield Large-Scale Suspended Graphene Membranes over Closed Cavities for Sensor Applications