나노기술 및 정책 정보

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● 일본의 접착 소재 제조업체 린텍은 50억 엔(약 451억 원)을 투자해 내년까지 첨단 반도체용 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 생산체제를 구축할 방침

● 린텍이 개발한 CNT 펠리클은 폴리실리콘을 사용한 기존 제품보다 내열성이 2배 이상 높고, 빛 투과도도 98% 정도 높아 노광장치의 빛을 거의 손실 없이 통과시켜 수율(합격품 비율) 저하를 방지

● 또한 린텍은 양산용 기계와 투과도를 검사하는 장치를 비롯해 펠리클의 품질을 균일하게 유지하는 기술, 제조 공정에서 막이 찢어지지 않도록 운반하는 기술 등을 개발

● 린텍은 일본 전체 펠리클 수요의 절반 수준인 연간 1만 장을 양산해 수년 내에 펠리클과 주변 제품을 합쳐 300억엔(약 2,700억 원) 이상의 매출을 달성할 계획