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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

일본 구리 나노입자를 이용한 파워 디바이스용 전사형 접합 시트 개발

페이지 정보

발행기관
타이요닛산
저자
 
종류
산업
나노기술분류
나노정보전자
발행일
2023-01-18
조회
840

본문

● 타이요닛산이 차재용 파워 디바이스 접합재로서, 구리 나노입자를 이용한 전사형 접합 시트를 개발

● 이형 필름(release film) 기재에 접합 시트를 형성하고 그 접합재 위에 SiC 등의 피접합재를 고정한 후 가열·가압함으로써, 피접합재와 같은 크기로 전사(轉寫)가 가능한 구리 나노입자 이용 전사형 접합 시트를 제작

● 개발된 접합 시트의 특징은 유연하여 부서짐이나 균열 걱정이 없고, 기존 소결형 접합재인 페이스트형 접합재의 경우 피접합재의 접합면에 페이스트를 인쇄하고 예비 건조를 거쳐 가열·가압하여 접합해야 했지만 본 접합재는 인쇄할 필요가 없고, 페이스트와는 달리 유기물 함유량이 매우 적은 시트형으로 예비 건조할 필요 없이 전사 후 그대로 접합 가능하여 접합 공정이 대폭 간소화되며, 구리계 소결형 접합재에서는 곤란했던 저온(250)에서의 접합이 가능

● 향후 본 접합재의 실용화를 위해 고객PR을 진행함과 동시에 고객 동향을 바탕으로 전개를 진행할 예정