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National Nanotechnology Policy Center

나노기술 및 정책 정보

중국 중국 최초의 나노 각도분해 광전자분광 시스템 개발

페이지 정보

발행기관
망이
저자
 
종류
산업
나노기술분류
나노공정·분석·장비
발행일
2022-12-05
조회
1,028

본문

● 왕메이샤오 연구원(상하이과학기술대학교) 연구팀은 미국, 영국, 프랑스 및 이탈리아에 이어 다섯 번째로 나노 각도분해 광전자분광(ARPES) 시스템을 개발

● 연구팀은 6년간의 노력을 거쳐 회전 진공챔버 설계, 광로 포지셔닝 및 진단, 샘플 위치 정밀 제어, 안정성 및 저온성능 등 기술적 난제들을 해결하고 중국 최초의 나노 ARPES 실험장을 건설하여, 중국 과학원의 테스트를 통과

● 현장테스트 결과에 의하면 이 실험장의 실측 백반(facula), 에너지 분해능, 광량 등 각항 지표는 모두 예상 지표보다 높은 수준을 달성

● 특히 실험장의 수평/수직 방향의 공간 분해능은 200나노미터 수준이며 전반적인 파라미터와 성능이 글로벌 최고 수준에 도달