나노기술 및 정책 정보

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● 야부카미 신 교수(토호쿠대) 연구팀은 전자 재료의 투자율(透磁率) 및 유전율을 평가하고 프로브를 판매하는 스타트업 기업 Tohoku-TMIT(Tohoku Measuring Instrumentation Technologies)을 설립

● 기존 측정 기술로는 어려웠던 인라인 측정이 가능해져 효율적으로 재료 특성 평가가 가능할 것으로 기대

● 샘플의 크기나 형상에 의존하지 않고 측정할 수 있으며, 1~3nm의 극 박막에 대한 평가 또한 가능하여 집적회로용 12인치 웨이퍼에도 적용할 수 있을 것으로 기대