나노기술 및 정책 정보

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● Hiroshi Sakaguchi 교수(Kyoto University) 연구팀은 실리콘 절삭 공정에서 고성능의 촉매 성능을 발현하는 산소 도핑형 그래핀 나노리본(GNR) 제조 기술을 개발

● 연구팀은 전해액에 담근 금속 기판에 펄스 전압을 가하는 방식으로 산화 환원 반응을 일으켜 실온에서 산소 도핑형 GNR 박막을 제조하는 기술을 개발

● 이어 연구팀은 해당 기술을 이용하여 만든 산소 도핑형 GNR이 실리콘을 효율적으로 산화시켜 기존의 귀금속 촉매(금), 탄소계 촉매(그래핀, 탄소나노튜브(CNT))를 능가하는 강한 촉매 활성을 지니고 있음을 확인

● 본 연구 성과를 반도체 가공 공정에 응용하면 3차원 대규모 집적회로(3D-LSI) 제조 공정을 혁신적으로 발전시킬 것으로 기대

Nature Communications (2024.07.29.), Electrochemical on-surface synthesis of a strong electron-donating graphene nanoribbon catalyst